ATTIVITÀ DIDATTICA DI FRANCESCO FUSO
 

Anno accademico 2002/2003

Corso di laurea STPA, corso integrato di Fisica e Matematica, Modulo di Fisica:

Corso di laurea in Scienza dei Materiali, corso di Fisica delle Nanotecnologie:
  • programma del corso (revisione 09/2002);
  • registro delle lezioni (virmap);
  • Trasparenze delle lezioni (formato PowerPoint):
    1. Parte 1 (introduzione, MOS-FET, trasporto in film sottili)
    2. Parte 2 (trasporto in sistemi 2DEG e 1DEG, sistemi 0DEG, Coulomb Blockade, dispositivi a singolo elettrone,...)
    3. Parte 3 (Carbon Nanotubes, intramolecular electronics, giunzioni Josephson,...)
    4. Parte 4 (Proprietà ottiche e confinamento quantico, Si-poroso, laser VCSEL e QC, cenni su photonic crystals,...)
    5. Parte 5 (Metodi di deposizione di film sottili: MBE, MOMBE, Sputtering, PLAD, CVD, LPE,...)
    6. Parte 6 (Metodi ottici di osservazione e fabbricazione di nanostrutture: microscopia ottica e confocale, litografia ottica resist, etching,.... Limite della diffrazione.)
    7. Parte 7 ("Strategie" per superare il limite di diffrazione in litografia ottica: sorgenti UV, XUV, X-ray, sincrotrone; phase-shifting masks; etching anisotropo e processi selettivi. Litografia atomica.)
    8. Parte 8 (Metodi di osservazione e fabbricazione di nanostrutture mediante fasci di cariche: SEM, TEM, cenni di microanalisi, litografia con fasci di elettroni e ioni, resist, risoluzione,...)
    9. Parte 9 (Microscopia a scansione di sonda: AFM, SFFM, STM, EFM, ...: metodi di operazione, cenni su artefatti e limiti di risoluzione; campo ottico prossimo e microscopia SNOM ad apertura e senza apertura; principali metodi litografici associati ad SPM )
Corso di laurea in Ingegneria delle Telecomunicazioni , Esercitazioni di Fisica II (corso Prof. Braccini):

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