ATTIVITÀ DIDATTICA
DI FRANCESCO FUSO
Anno accademico 2002/2003
Corso di laurea STPA,
corso integrato di Fisica e Matematica, Modulo di Fisica:
Corso di laurea in
Scienza
dei Materiali, corso di Fisica delle Nanotecnologie:
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programma
del corso (revisione 09/2002);
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registro
delle lezioni (virmap);
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Trasparenze delle lezioni (formato PowerPoint):
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Parte 1 (introduzione,
MOS-FET,
trasporto in film sottili)
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Parte 2 (trasporto in sistemi 2DEG e 1DEG,
sistemi 0DEG, Coulomb Blockade, dispositivi a singolo elettrone,...)
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Parte 3 (Carbon Nanotubes, intramolecular
electronics, giunzioni Josephson,...)
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Parte 4 (Proprietà ottiche e
confinamento quantico, Si-poroso, laser VCSEL e QC, cenni su
photonic crystals,...)
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Parte 5 (Metodi di deposizione di film sottili:
MBE, MOMBE, Sputtering, PLAD, CVD, LPE,...)
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Parte 6 (Metodi ottici di osservazione e fabbricazione
di nanostrutture: microscopia ottica e confocale, litografia ottica
resist, etching,.... Limite della diffrazione.)
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Parte 7 ("Strategie" per
superare il limite di diffrazione in litografia ottica:
sorgenti UV, XUV, X-ray, sincrotrone; phase-shifting masks;
etching anisotropo e processi selettivi.
Litografia atomica.)
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Parte 8
(Metodi di osservazione e fabbricazione di nanostrutture mediante
fasci di cariche: SEM, TEM, cenni di microanalisi, litografia con
fasci di elettroni e ioni, resist, risoluzione,...)
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Parte 9
(Microscopia a
scansione di sonda:
AFM, SFFM, STM, EFM, ...: metodi di operazione,
cenni su artefatti e limiti di risoluzione;
campo ottico prossimo e microscopia SNOM ad apertura e
senza apertura; principali
metodi litografici associati ad SPM
)
Corso di laurea in
Ingegneria delle Telecomunicazioni
, Esercitazioni di Fisica II (corso Prof. Braccini):
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